Реферат: Ионная имплантация

Таблица 3. Роль различных физических эффектов ионной имплантации в работах по научным направлениям, перечисленным в Таблице 2.

Индекс физэффекта имплантации	Индекс научного направления
Индекс физэффекта имплантации	1.1	1.2	2.1	2.2	3.1	3.2	3.3	3.4	3.5	3.6	4.1	4.2	4.3
1	-	-	+	-	+	+	+		+	+	+	+	+
2	+	+	+	-			+	+			+	+	+
3.1	-	+	+	+				+	+	-	-	-	-
3.2	-	+	+	+	-	-	-	-	-	-	-	-	-
3.3	-	+	+	+	-	-	-	-	-	-	-	-	-
4	-	+		+	+	+	-	+	-	-	+	-	+
5	-	+	+	-	-	-	-	+	+	+	-	-	-
6	+	+	-	-	-	-	-	+	+	-	-	-	+
7	-	+	+	+	+	+	+	-	+	+	+	-	-
8.1	-	-	+	-	+	+	+	-	+	+	+	+	+
8.2	-	+	+	+	-	-	-	+	-	-	+	+	+

Примечания к Таблице 3:

Страницы: 1, 2, 3